ELEGANT CLUSTER系列是原磊材料科技的团簇式ALD设备，拥有完全的自主知识产权，符合CE标准。该系列搭载独立控制的真空传输、标准ALD反应腔、进/取样腔和冷却腔可实现多功能材料和器件制备；同时通过热法和等离子体增强腔体的相互配合可以实现真空环境下完整器件的前处理、制备和后处理工艺。独特的冷却腔设计可以提升产品的良率，灵活的进样/取样腔配置可以最大程度上提升产能。该产品可以完全满足半导体先进制程对工艺洁净度的要求，因此适用于中试或大批量生产型客户。